根据《中华人民共和国促进科技成果转化法》及学校规定,现拟将我校以下专利所有权转让有关事项公示如下:
专利名称:一种三维宽场线性磁传感器和制备方法
专利号:ZL202610085114.3
专利类型:发明专利
专利权人:山西师范大学
发明人:全志勇 刘欢 杨书懿 刘晋楠 张伟 许小红
简介:本发明公开了一种三维宽场线性磁传感器及制备方法,属于磁传感器技术领域。所述传感器采用Cr/Pt/Co/Ta多层膜结构,该结构从下至上依次层叠于热氧化的Si基片,其中Cr层为轨道流源层,Pt层为轨道流‑自旋流转换层及自旋流源层,Co层为磁性层,Ta层为保护层及自旋流源层;制备时先通过超高真空磁控溅射系统按特定工艺沉积各层,再经激光直写、Ar离子刻蚀等微加工制成四端霍尔巴器件。该传感器x、y方向灵敏度均≥200V·A‑1·T‑1且线性响应范围≥±60Oe,z方向灵敏度≥1900V·A‑1·T‑1且线性响应范围≥±10Oe,可通过单器件实现三维磁场探测,显著缩小体积、提升集成度,适用于机器人微型传感、芯片级磁定位等小型化设备场景。
受让方:武汉乐芯科技有限公司
转让价格:人民币贰拾叁万元整 ¥230000.00
定价方式:协议定价
公示时间:2026年8月19日—9月2日
公示期间,如有异议,请以书面形式向学校反映。
联系人:曹老师
联系电话:0351-2051077
自然科学部
2026年8月19日